表面处理方法以及表面处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110127811.4

申请日：

2011-05-12

公开(公告)号：

CN102263012A

公开(公告)日：

2011-11-30

发明(设计)人：

丰田纪章山田公成岛正树原岛正幸森崎英介

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101169312897 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2011101278114 申请日:20110512
2014-11-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101707076354 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2011101278114 申请公布日:20111130
2011-11-30	公开	公开

共 50 条

[1]

表面处理装置以及表面处理方法 [P].

井村了太 .

中国专利 :CN110891735A ,2020-03-17

[2]

表面处理装置以及表面处理方法 [P].

小久保光典 ;

福山聪 ;

深田和宏 ;

末木凜太郎 ;

栗原义明 ;

难波武志 .

日本专利 :CN117940604A ,2024-04-26

[3]

表面处理方法以及表面处理装置 [P].

高田智司 .

中国专利 :CN110484905A ,2019-11-22

[4]

表面处理装置、表面处理方法以及桨叶 [P].

奥田朋士 ;

松山大辅 ;

木曽雅之 ;

桥本大督 ;

冈田享 ;

谷口启太 .

中国专利 :CN110359080A ,2019-10-22

[5]

表面处理装置、表面处理方法以及桨叶 [P].

奥田朋士 ;

松山大辅 ;

木曽雅之 ;

桥本大督 ;

冈田享 ;

谷口启太 .

中国专利 :CN112626601A ,2021-04-09

[6]

表面处理装置、表面处理方法以及桨叶 [P].

奥田朋士 ;

松山大辅 ;

木曽雅之 ;

桥本大督 ;

冈田享 ;

谷口启太 .

日本专利 :CN112626601B ,2024-09-06

[7]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

长田道男 ;

北田良二 ;

广田敦司 .

中国专利 :CN100436096C ,2003-05-28

[8]

表面处理装置和表面处理方法 [P].

臼井胜宏 ;

长尾毅 .

中国专利 :CN108290274B ,2018-07-17

[9]

表面处理装置和表面处理方法 [P].

东正久 ;

中谷敦夫 ;

中尾荣作 .

中国专利 :CN103052734A ,2013-04-17

[10]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

松野竹己 .

中国专利 :CN100360302C ,2004-09-22

← 1 2 3 4 5 →