用于冷却沉积区域的冷却系统，用于进行材料沉积的布置，以及在基板上进行沉积的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880093193.6

申请日：

2018-06-15

公开(公告)号：

CN112424393A

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

斯蒂芬·班格特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-26	公开	公开
2021-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20180615

共 50 条

[1]

用于在基板上进行层沉积的设备 [P].

朴炫灿 ;

伊夫林·希尔 ;

林东吉 .

中国专利 :CN209227052U ,2019-08-09

[2]

冷却装置、用于对冷却元件进行冷却的方法以及层沉积设备 [P].

M·布克哈特 ;

J·科波尔德 ;

J·威廉姆斯 .

德国专利 :CN117836465A ,2024-04-05

[3]

用于材料沉积源布置的分配组件的喷嘴、材料沉积源布置、真空沉积系统和用于沉积材料的方法 [P].

安德烈亚斯·洛普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN108474102A ,2018-08-31

[4]

辐射装置、用于在基板上沉积材料的沉积设备和用于在基板上沉积材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

法比奥·贝亚雷斯 ;

斯特芬·布朗格 ;

尼尔·莫里森 ;

托比亚斯·斯托利 ;

霍斯特·阿尔特 ;

格哈德·施泰尼格 .

中国专利 :CN112840443A ,2021-05-25

[5]

材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

奥利弗·海默尔 ;

迪特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107002223B ,2017-08-01

[6]

材料沉积布置、真空沉积系统和沉积材料的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

乌韦·许斯勒 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN107109624B ,2017-08-29

[7]

用于在基板上真空沉积的设备和系统以及用于在基板上真空沉积的方法 [P].

约翰·M·怀特 ;

奥利弗·格拉沃尔 .

中国专利 :CN108138322A ,2018-06-08

[8]

用于真空沉积的材料沉积布置和材料分配布置 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

安德烈亚斯·勒普 ;

托马斯·格比利 ;

乌韦·许斯勒 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 .

中国专利 :CN107002221B ,2017-08-01

[9]

用于在基板上沉积材料的设备、用于在基板上沉积一个或多个层的系统和用于监视真空沉积系统的方法 [P].

迪特尔·哈斯 ;

斯蒂芬·班格特 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

佩曼·哈米吉尔 ;

克里斯托弗·于尔根·汉森 .

中国专利 :CN108431294A ,2018-08-21

[10]

用于真空沉积系统的装置以及用于真空沉积的系统 [P].

迈克尔·穆克 .

德国专利 :CN119096001A ,2024-12-06

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