一种AZO靶材及AZO透明导电薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410105233.8

申请日：

2014-03-20

公开(公告)号：

CN103882384B

公开(公告)日：

2014-06-25

发明(设计)人：

王新华叶静严密

申请人：

申请人地址：

310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

IPC主分类号：

C23C1428

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

杭州天勤知识产权代理有限公司 33224

代理人：

胡红娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583897681 IPC(主分类):C23C 14/28 专利申请号:2014101052338 申请日:20140320
2021-03-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/28 申请日:20140320 授权公告日:20160615 终止日期:20200320
2014-06-25	公开	公开
2016-06-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种AZO透明导电薄膜的制备方法 [P].

孙宜华 ;

陈剑 ;

吕鑫 ;

方亮 ;

王海林 .

中国专利 :CN103938210B ,2014-07-23

[2]

AZO靶材的制备方法及AZO靶材 [P].

孔伟华 ;

董冬青 .

中国专利 :CN109280877A ,2019-01-29

[3]

一种AZO透明导电薄膜及其制备方法 [P].

吴海忠 ;

杨晔 .

中国专利 :CN115583803B ,2024-05-17

[4]

一种AZO透明导电薄膜及其制备方法 [P].

吴海忠 ;

杨晔 .

中国专利 :CN115583803A ,2023-01-10

[5]

室温下制备AZO透明导电薄膜的方法 [P].

李辉 ;

屈飞 ;

古宏伟 ;

王文静 .

中国专利 :CN107502861A ,2017-12-22

[6]

透明导电薄膜制备所用的靶材及导电薄膜和电极制造方法 [P].

薛建设 ;

林承武 ;

梁珂 .

中国专利 :CN101285164A ,2008-10-15

[7]

一种制备高性能AZO透明导电薄膜的方法 [P].

王绩伟 ;

梅勇 ;

卢雪梅 ;

范晓星 ;

康大为 ;

徐攀峰 ;

谭天亚 ;

刘玉芬 ;

李佳 .

中国专利 :CN106435533A ,2017-02-22

[8]

AZO透明导电薄膜及其制备方法和应用 [P].

刘荣跃 ;

丁庆 ;

冯军正 ;

杨旻蔚 ;

张翠 ;

许奔 ;

孙竹 .

中国专利 :CN108493299A ,2018-09-04

[9]

一种制备（002）取向的AZO透明导电薄膜的方法 [P].

胡保付 ;

汪舰 ;

杜保立 ;

刘丙国 ;

徐坚 ;

刘明 .

中国专利 :CN107723688A ,2018-02-23

[10]

室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法 [P].

王新昌 ;

闫震 ;

郭松昌 ;

万志刚 ;

丁万勇 ;

李光辉 ;

刘国龙 .

中国专利 :CN106119778A ,2016-11-16

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