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加工装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810536178.6
申请日：
2018-05-30
公开(公告)号：
CN108987269A
公开(公告)日：
2018-12-11
发明(设计)人：
田篠文照 青木昌史
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
李辉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-12-11 公开 公开
2020-05-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20180530
共 50 条
[1]
加工装置 [P]. 
久保雅裕 ;
桥本博公 ;
高桥聪 ;
川上刚司 .
中国专利 :CN110385798A ,2019-10-29
[2]
加工装置 [P]. 
庄司启一 .
日本专利 :CN117637576A ,2024-03-01
[3]
加工装置 [P]. 
久保徹雄 .
中国专利 :CN113427339A ,2021-09-24
[4]
加工装置 [P]. 
寺田一贵 .
日本专利 :CN112643512B ,2024-03-12
[5]
加工装置 [P]. 
久保徹雄 .
日本专利 :CN113427339B ,2025-12-12
[6]
加工装置 [P]. 
寺田一贵 .
中国专利 :CN112643512A ,2021-04-13
[7]
加工装置 [P]. 
森俊 .
中国专利 :CN107538317A ,2018-01-05
[8]
激光加工装置 [P]. 
伴祐人 ;
吉田侑太 ;
小田中健太郎 .
中国专利 :CN108406105A ,2018-08-17
[9]
钻孔加工装置 [P]. 
柳下福藏 .
中国专利 :CN102892538A ,2013-01-23
[10]
精密工装夹具加工用铣床 [P]. 
陈建文 .
中国专利 :CN209578280U ,2019-11-05
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