一种太赫兹谐振腔型等离子芯片及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510270265.8

申请日：

2015-05-25

公开(公告)号：

CN104931137B

公开(公告)日：

2015-09-23

发明(设计)人：

陈麟魏凌王文纲朱亦鸣陈长英臧小飞彭滟蔡斌庄松林

申请人：

申请人地址：

200093 上海市杨浦区军工路516号

IPC主分类号：

G01J302

IPC分类号：

C23C1416

代理机构：

上海德昭知识产权代理有限公司 31204

代理人：

郁旦蓉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-23	公开	公开
2017-04-05	授权	授权
2015-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101629656743 IPC(主分类):G01J 3/02 专利申请号:2015102702658 申请日:20150525

共 50 条

[1]

一种太赫兹PDMS微流控型谐振腔芯片及其制备方法 [P].

陈麟 ;

殷恒辉 ;

杨冰洋 ;

雍有 ;

杨涵 ;

杨洁 ;

许恩豪 ;

朱亦鸣 ;

庄松林 .

中国专利 :CN109289946A ,2019-02-01

[2]

一种谐振腔型太赫兹器件及其制备方法 [P].

孙怡雯 ;

刘旭东 ;

黄嘉良 .

中国专利 :CN110346997A ,2019-10-18

[3]

一种微波等离子谐振腔 [P].

李晓静 ;

郑顺奇 ;

郑阳升 .

中国专利 :CN205398725U ,2016-07-27

[4]

微机械太赫兹波导、太赫兹波导式谐振腔及制备方法 [P].

缪旻 ;

张杨飞 ;

金玉丰 .

中国专利 :CN101577358A ,2009-11-11

[5]

同轴型等离子体谐振腔 [P].

连海洲 ;

江斌 ;

皮亚斌 .

中国专利 :CN117528893A ,2024-02-06

[6]

一种等离子源谐振腔调节方法、装置及谐振腔 [P].

赵迎宾 ;

安丽 ;

黄星星 ;

胡琅 ;

胡强 .

中国专利 :CN119403027B ,2025-10-17

[7]

一种等离子源谐振腔调节方法、装置及谐振腔 [P].

赵迎宾 ;

安丽 ;

黄星星 ;

胡琅 ;

胡强 .

中国专利 :CN119403027A ,2025-02-07

[8]

一种双腔型等离子体微波谐振腔 [P].

胡肖 ;

朱继红 ;

李鹏 ;

龙胜亚 ;

王瑞春 .

中国专利 :CN105502918A ,2016-04-20

[9]

一种医疗废物微波等离子处理谐振腔 [P].

曹蕴明 .

中国专利 :CN210267230U ,2020-04-07

[10]

一种圆柱型等离子体谐振腔 [P].

李震宇 ;

卢松涛 ;

刘善沛 ;

龙胜亚 ;

雷高清 ;

刘泳涛 .

中国专利 :CN201622996U ,2010-11-03

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