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制备铁元素掺杂钛基纳米耐蚀薄膜的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111181793.8
申请日：
2021-10-11
公开(公告)号：
CN113913795A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
李文靓
彭穗
辛亚男
申请人：
申请人地址：
610306 四川省成都市中国（四川）自由贸易试验区成都市青白江区城厢镇香岛大道1509号（铁路港大厦A区13楼A1301-1311、1319室）
IPC主分类号：
C23C1812
IPC分类号：
代理机构：
成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124
代理人：
刘扬
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/12 申请日:20211011 |