研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610848478.9
申请日
2016-09-26
公开(公告)号
CN107866732A
公开(公告)日
2018-04-03
发明(设计)人
冯崇智 姚伊蓬 洪永璋 宋品贤 陈晋纬 吴文杰
申请人
申请人地址
中国台湾高雄市
IPC主分类号
B24B3726
IPC分类号
B24B3722 B24B3724 B24B3704 B24D1100
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
秦剑
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨垫、研磨装置及研磨垫的制造方法 [P]. 
冯崇智 ;
姚伊蓬 ;
洪永璋 ;
蔡坤成 .
中国专利 :CN103817590A ,2014-05-28
[2]
研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P]. 
冯崇智 ;
姚伊蓬 ;
洪永璋 ;
吴文杰 .
中国专利 :CN104552034A ,2015-04-29
[3]
研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P]. 
冯崇智 ;
姚伊蓬 ;
洪永璋 ;
刘玮得 ;
王俊达 .
中国专利 :CN105437056B ,2016-03-30
[4]
研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P]. 
冯崇智 ;
姚伊蓬 ;
洪永璋 ;
刘玮得 ;
王俊达 .
中国专利 :CN104786137A ,2015-07-22
[5]
研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P]. 
王裕标 ;
陈忆萍 .
中国专利 :CN110385640A ,2019-10-29
[6]
研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P]. 
王裕标 .
中国专利 :CN109420974B ,2019-03-05
[7]
制造研磨垫及研磨装置的方法 [P]. 
冯崇智 ;
姚伊蓬 ;
洪永璋 ;
吴文杰 .
中国专利 :CN104552033A ,2015-04-29
[8]
研磨垫及研磨垫的制造方法 [P]. 
小川一幸 ;
下村哲生 ;
数野淳 ;
中井良之 ;
渡边公浩 ;
山田孝敏 ;
中森雅彦 .
中国专利 :CN101659036A ,2010-03-03
[9]
研磨垫及研磨垫的制造方法 [P]. 
小川一幸 ;
下村哲生 ;
数野淳 ;
中井良之 ;
渡边公浩 ;
山田孝敏 ;
中森雅彦 .
中国专利 :CN101072657B ,2007-11-14
[10]
研磨垫及研磨垫的制造方法 [P]. 
向史博 ;
田浦歳和 .
中国专利 :CN106457523A ,2017-02-22