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扫描仪及扫描型探针显微镜
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780082870.X
申请日：
2017-12-07
公开(公告)号：
CN110178038A
公开(公告)日：
2019-08-27
发明(设计)人：
山下隼人
阿部真之
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
G01Q1004
IPC分类号：
G01Q1002
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 10/04 申请日:20171207 |
| 2019-08-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-21 | 授权 | 授权 |