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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-07-15 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717838767 IPC(主分类):H01L 21/78 专利号:ZL2010102794360 变更事项:专利权人 变更前权利人:株式会社日立高新技术仪器 变更后权利人:捷进科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本埼玉县 变更后权利人:日本山梨县 登记生效日:20150624 |
| 2012-02-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180920310 IPC(主分类):H01L 21/78 专利申请号:2010102794360 申请日:20100910 |
| 2011-12-21 | 公开 | 公开 |
| 2015-04-01 | 授权 | 授权 |