MEMS声换能器和提供MEMS声换能器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810201438.4

申请日：

2018-03-12

公开(公告)号：

CN108569673B

公开(公告)日：

2018-09-25

发明(设计)人：

S·巴曾

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81B300 B81C100 H04R100 H04R716

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑立柱;张鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-25	公开	公开
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20180312
2023-02-17	授权	授权

共 50 条

[1]

超声类型的MEMS声换能器和MEMS声换能器 [P].

G·加特瑞 ;

C·瓦尔扎希纳 ;

F·韦尔切西 ;

G·阿勒加托 .

中国专利 :CN211063784U ,2020-07-21

[2]

MEMS声换能器 [P].

詹竣凱 ;

蔡孟錦 .

中国专利 :CN206620295U ,2017-11-07

[3]

MEMS声换能器 [P].

马尔特·佛罗莱恩·尼基尔 ;

法比安·斯托佩尔 ;

托马斯·里塞奇 .

中国专利 :CN111277935B ,2020-06-12

[4]

差动型MEMS声换能器 [P].

G·尼科利尼 ;

S·阿多尔诺 ;

A·巴拜利 ;

F·巴拜利 ;

S·康蒂 ;

E·马里诺 ;

S·珀尼西 .

中国专利 :CN105704627A ,2016-06-22

[5]

MEMS声换能器及其制造方法 [P].

詹竣凱 ;

蔡孟錦 .

中国专利 :CN106911990A ,2017-06-30

[6]

MEMS声换能器器件和电子装置 [P].

G·尼科利尼 ;

A·巴拜利 ;

F·巴拜利 ;

A·达尼奥尼 ;

E·马里诺 ;

S·珀尼西 .

中国专利 :CN204929254U ,2015-12-30

[7]

MEMS声换能器和麦克风装置 [P].

S·舒伯姆 ;

林宏谦 .

中国专利 :CN114827857A ,2022-07-29

[8]

MEMS声换能器和麦克风装置 [P].

S·舒伯姆 ;

林宏谦 .

美国专利 :CN114827857B ,2025-10-28

[9]

MEMS声换能器及电子设备 [P].

M·佩尔勒蒂 ;

I·瓦里斯科 ;

L·拉玛格纳 ;

S·阿多尔诺 ;

G·加特瑞 ;

C·瓦尔扎希纳 ;

S·康蒂 .

中国专利 :CN206640794U ,2017-11-14

[10]

MEMS声换能器以及电子设备 [P].

G·尼科利尼 ;

S·阿多尔诺 ;

A·巴拜利 ;

F·巴拜利 ;

S·康蒂 ;

E·马里诺 ;

S·珀尼西 .

中国专利 :CN205249478U ,2016-05-18

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