石英管扩散炉炉门

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420279435.X
申请日
2014-05-29
公开(公告)号
CN203947185U
公开(公告)日
2014-11-19
发明(设计)人
张晶 张军虎 曹允波
申请人
申请人地址
214426 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区
IPC主分类号
C30B3106
IPC分类号
H01L3118
代理机构
江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210
代理人
唐纫兰;曾丹
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
石英管扩散炉 [P]. 
严义博 ;
张晶 ;
张兴德 ;
周平 ;
曹允波 .
中国专利 :CN203947184U ,2014-11-19
[2]
扩散炉用石英管装置 [P]. 
闫新春 ;
陈军 ;
夏正月 ;
许涛 ;
邢国强 .
中国专利 :CN206298662U ,2017-07-04
[3]
卧式扩散炉的石英管 [P]. 
陆益 ;
邹威 ;
赵晓非 ;
张凡文 ;
裘俊庆 ;
王毅 .
中国专利 :CN210167335U ,2020-03-20
[4]
一种扩散炉用石英管 [P]. 
王大江 ;
王森彪 ;
徐艳艳 ;
李建忠 .
中国专利 :CN203923461U ,2014-11-05
[5]
一种扩散炉用石英管 [P]. 
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一种高温扩散炉用石英管 [P]. 
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中国专利 :CN214937970U ,2021-11-30
[7]
一种高温扩散炉中的石英管 [P]. 
李德云 ;
童鹏飞 ;
徐新毅 .
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一种负压扩散炉用石英管 [P]. 
杨宝立 ;
常红旺 ;
张勇 .
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[9]
一种负压扩散炉用石英管 [P]. 
陈文 .
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[10]
石英管炉结构 [P]. 
黄全德 ;
黄文正 ;
翁维襄 .
中国专利 :CN2736724Y ,2005-10-26