电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510027684.5

申请日：

2005-07-12

公开(公告)号：

CN100363533C

公开(公告)日：

2006-01-11

发明(设计)人：

毕军易葵黄建兵王素梅傅小勇沈健朱美萍范正修

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1454 G02B110

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-01-23	授权	授权
2006-01-11	公开	公开
2015-09-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101623046855 IPC(主分类):C23C 14/30 专利号:ZL2005100276845 申请日:20050712 授权公告日:20080123 终止日期:20140712

共 50 条

[1]

一种多源的电子束蒸发镀膜装置及膜厚均匀性修正方法 [P].

胡震霖 ;

胡茂横 .

中国专利 :CN112501562A ,2021-03-16

[2]

电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P].

杨建 ;

王雪戈 ;

冯治华 .

中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23

[3]

电子束蒸发镀膜系统 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN214496458U ,2021-10-26

[4]

电子束蒸发镀膜装置 [P].

李萌萌 ;

黄添萍 ;

李兆营 .

中国专利 :CN118291927A ,2024-07-05

[5]

电子束蒸发镀膜设备 [P].

袁祖浩 ;

龚俊 ;

李勇 ;

张双景 ;

鲁彤 ;

李明 ;

王佳方 .

中国专利 :CN308435066S ,2024-01-23

[6]

电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置 [P].

杨佳葳 ;

龚涛 ;

蔡国 ;

龚平 ;

谢俊 .

中国专利 :CN209702842U ,2019-11-29

[7]

坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P].

黄涛 ;

王志强 ;

蔡永安 ;

白泽文 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN222540859U ,2025-02-28

[8]

电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条 [P].

张云生 .

中国专利 :CN210796607U ,2020-06-19

[9]

一种电子束蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法 [P].

杜鸿基 ;

陈亮 .

中国专利 :CN117127152B ,2025-12-12

[10]

一种电子束蒸发镀膜装置 [P].

王锦驰 ;

王一鸣 ;

江仲开 ;

杨展頔 .

中国专利 :CN223674725U ,2025-12-16

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