相位调制元件及其制造方法、结晶化装置及结晶化方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200610164615.3
申请日
2006-09-22
公开(公告)号
CN1955786B
公开(公告)日
2007-05-02
发明(设计)人
小川裕之 平松雅人
申请人
申请人地址
日本大阪
IPC主分类号
G02F101
IPC分类号
G02F11362 G02F1133 H01L2120 H01L21268 H01L2100 B23K2606
代理机构
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
胡建新
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
结晶装置、结晶方法、器件和相位调制元件 [P]. 
谷口幸夫 ;
松村正清 ;
秋田典孝 .
中国专利 :CN100403142C ,2005-04-06
[2]
结晶化调制元件 [P]. 
邢文波 .
中国专利 :CN203224691U ,2013-10-02
[3]
结晶装置、结晶方法及相位转换机构 [P]. 
谷口幸夫 ;
松村正清 ;
山口弘高 ;
西谷干彦 ;
辻川晋 ;
木村嘉伸 ;
十文字正之 .
中国专利 :CN1492477A ,2004-04-28
[4]
结晶装置、结晶方法 [P]. 
松村正清 ;
谷口幸夫 .
中国专利 :CN1577728A ,2005-02-09
[5]
激光结晶装置和结晶方法 [P]. 
高见芳夫 ;
田口龙大 .
中国专利 :CN1983511A ,2007-06-20
[6]
激光结晶装置和结晶方法 [P]. 
高见芳夫 ;
田口龙大 .
中国专利 :CN1983513A ,2007-06-20
[7]
光照射装置、光照射方法、结晶化装置、结晶化方法、以及半导体器件 [P]. 
谷口幸夫 .
中国专利 :CN101038862A ,2007-09-19
[8]
结晶装置以及结晶方法 [P]. 
秋田典孝 ;
高见芳夫 .
中国专利 :CN101312116A ,2008-11-26
[9]
结晶装置和结晶方法 [P]. 
谷口幸夫 ;
松村正清 .
中国专利 :CN1498989A ,2004-05-26
[10]
结晶装置以及结晶方法 [P]. 
秋田典孝 ;
高见芳夫 .
中国专利 :CN101312117B ,2008-11-26