共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种精密可调定位装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020161741.5
申请日：
2010-04-16
公开(公告)号：
CN201681253U
公开(公告)日：
2010-12-22
发明(设计)人：
胡永辉
申请人：
申请人地址：
201203 上海市张东路1525号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-12 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20100416 授权公告日:20101222 |
| 2010-12-22 | 授权 | 授权 |
| 2017-08-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757976036 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2010201617415 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市张东路1525号 变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号 变更事项:共同专利权人 变更前:上海微高精密机械工程有限公司 变更后:上海微高精密机械工程有限公司 |