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硅片高速转运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120566244.8
申请日：
2011-12-30
公开(公告)号：
CN202384310U
公开(公告)日：
2012-08-15
发明(设计)人：
朱绍明
戴军
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇春辉路5号跨春工业坊6号厂房
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
上海胜康律师事务所 31263
代理人：
夏烨
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-08-15 | 授权 | 授权 |
| 2022-01-18 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20111230 授权公告日:20120815 |
| 2017-03-15 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101748177149 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2011205662448 变更事项:专利权人 变更前:苏州罗博特科自动化设备有限公司 变更后:罗博特科智能科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215000 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇春辉路5号跨春工业坊6号厂房 变更后:215122 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇葑亭大道598号 |