金属互连结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210226475.3

申请日：

2012-07-02

公开(公告)号：

CN103531525B

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

张海洋伍强顾一鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23528

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573731878 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2012102264753 申请日:20120702
2014-01-22	公开	公开
2016-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

金属互连结构的制作方法 [P].

张城龙 ;

胡敏达 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103474389A ,2013-12-25

[2]

金属互连结构的制作方法 [P].

梁学文 ;

陈玉文 ;

胡友存 ;

姬峰 ;

李磊 .

中国专利 :CN102751237A ,2012-10-24

[3]

金属互连结构的制作方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN103531527A ,2014-01-22

[4]

金属互连结构的制作方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 .

中国专利 :CN102915960A ,2013-02-06

[5]

金属互连结构的制作方法 [P].

施京美 ;

张校平 ;

代大全 .

中国专利 :CN104733376A ,2015-06-24

[6]

金属互连结构及其制作方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 ;

张城龙 .

中国专利 :CN103531526B ,2014-01-22

[7]

金属互连结构及其制作方法 [P].

张城龙 ;

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103839874B ,2014-06-04

[8]

金属互连结构的制作方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN103117246A ,2013-05-22

[9]

金属互连结构的制作方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 .

中国专利 :CN102881648A ,2013-01-16

[10]

金属互连结构及其制作方法 [P].

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104112703B ,2014-10-22

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