层间电容器的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710173566.4

申请日：

2007-12-28

公开(公告)号：

CN101197256B

公开(公告)日：

2008-06-11

发明(设计)人：

顾学强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼B区

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20071228 授权公告日:20120606 终止日期:20191228
2010-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101028082134 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2007101735664 申请日:20071228
2008-06-11	公开	公开
2012-06-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种层间电容器的形成方法 [P].

顾学强 .

中国专利 :CN101217129A ,2008-07-09

[2]

形成电容器及其介质层的方法及其形成的电容器 [P].

崔在亨 ;

郑正喜 ;

金晟泰 ;

柳次英 ;

金基哲 ;

吴世勋 ;

崔正植 .

中国专利 :CN102082079A ,2011-06-01

[3]

MIM电容器及其形成方法 [P].

王健鹏 .

中国专利 :CN102709270A ,2012-10-03

[4]

形成电容器的方法及形成电容器介电层的方法 [P].

D·M·埃皮希 ;

K·L·比曼 .

中国专利 :CN100380611C ,2005-11-23

[5]

电容器件的形成方法 [P].

王晓东 ;

刘新鑫 ;

钱蔚宏 .

中国专利 :CN117637712A ,2024-03-01

[6]

MIM电容器的形成方法 [P].

赵波 .

中国专利 :CN103390542A ,2013-11-13

[7]

电容器结构的形成方法 [P].

黄智雄 ;

刘凡瑄 .

中国专利 :CN121240441A ,2025-12-30

[8]

电容器及其形成方法 [P].

钱蔚宏 ;

程仁豪 .

中国专利 :CN102222702A ,2011-10-19

[9]

电容器及其形成方法 [P].

吴轶超 .

中国专利 :CN118016649A ,2024-05-10

[10]

电容器及其形成方法 [P].

神兆旭 ;

郭俊伟 ;

李阳 .

中国专利 :CN117832202A ,2024-04-05

← 1 2 3 4 5 →