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一种高温绑定压头装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021205250.6
申请日：
2020-06-28
公开(公告)号：
CN212676221U
公开(公告)日：
2021-03-09
发明(设计)人：
何海龙
陈金秀
申请人：
申请人地址：
518100 广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区祝龙田北路8号劲拓高新技术中心二单元5层
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 授权 | 授权 |
| 2022-12-13 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:深圳市劲拓微电子装备有限责任公司 变更后:精创（深圳）装备有限公司 变更事项:地址 变更前:518100 广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区祝龙田北路8号劲拓高新技术中心二单元5层 变更后:518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区汇龙达工业园汇龙达工业园D栋厂房二楼C6 |