玻璃基板清洗装置及玻璃基板清洗方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200680001199.3
申请日
2006-02-01
公开(公告)号
CN101060938B
公开(公告)日
2012-10-31
发明(设计)人
西村直树 奥村弘和
申请人
申请人地址
日本国滋贺县
IPC主分类号
B08B302
IPC分类号
C03C2300 C03C1900 G02F11333
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
李贵亮
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
玻璃基板传送装置及玻璃基板清洗装置 [P]. 
产桂方 ;
张民井 ;
洪耀 .
中国专利 :CN112299013A ,2021-02-02
[2]
玻璃基板清洗装置 [P]. 
王波 ;
苏记华 ;
张建军 ;
魏军立 ;
王志周 ;
汪激扬 ;
刘先强 ;
赵虎 .
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[3]
玻璃基板清洗装置 [P]. 
李青 ;
李赫然 ;
王剑波 ;
陈发伟 .
中国专利 :CN110280513A ,2019-09-27
[4]
玻璃基板清洗装置 [P]. 
黄一林 .
中国专利 :CN217775085U ,2022-11-11
[5]
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陈仰宏 ;
杨小刚 .
中国专利 :CN104971921A ,2015-10-14
[6]
玻璃基板清洗装置 [P]. 
陈仰宏 ;
杨小刚 .
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[7]
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王峰 ;
王耀君 ;
李庆文 ;
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[8]
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金大原 .
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[9]
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王晓庆 .
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[10]
玻璃基板清洗装置 [P]. 
邱天霜 ;
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石志强 ;
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李俊生 ;
张桂龙 ;
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