一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202110746747.1
申请日
2021-07-02
公开(公告)号
CN113416913A
公开(公告)日
2021-09-21
发明(设计)人
王永超 居炎鹏 赵泽良 仝红岩 王留土 郑海强 史豪杰 陈耘田 郭利乐 刘占军 李伟
申请人
申请人地址
450000 河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层
IPC主分类号
C23C4134
IPC分类号
C23C411 C23C1435
代理机构
郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149
代理人
李伟
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种碳化硅纤维基氧化镁-氧化铝双层涂层的制备方法 [P]. 
陈照峰 ;
王飞 .
中国专利 :CN105174986A ,2015-12-23
[2]
一种氧化镁靶材与背板焊接的方法 [P]. 
王永超 ;
居炎鹏 ;
赵泽良 ;
仝红岩 ;
王留土 ;
郑海强 ;
史豪杰 ;
陈耘田 ;
郭利乐 ;
刘占军 ;
李伟 .
中国专利 :CN112355427A ,2021-02-12
[3]
氧化铝-氧化镁-石墨耐火材料 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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