一种高效的硅片切削液的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410847129.6
申请日
2014-12-31
公开(公告)号
CN104560339A
公开(公告)日
2015-04-29
发明(设计)人
聂金根
申请人
申请人地址
212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路
IPC主分类号
C10M17300
IPC分类号
C10N3006
代理机构
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258
代理人
季萍
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高效的硅片切削液 [P]. 
聂金根 .
中国专利 :CN104593128A ,2015-05-06
[2]
一种硅片切削液 [P]. 
蒋建宝 .
中国专利 :CN106995743A ,2017-08-01
[3]
新型硅片切削液 [P]. 
聂金根 .
中国专利 :CN103695145A ,2014-04-02
[4]
一种硅片切削液 [P]. 
张良恒 ;
孟祥停 ;
王伟 ;
古培俊 .
中国专利 :CN108531283A ,2018-09-14
[5]
一种高效切削液 [P]. 
蒋飞 .
中国专利 :CN107641552A ,2018-01-30
[6]
新型硅片切削液 [P]. 
潘文进 .
中国专利 :CN106367167A ,2017-02-01
[7]
一种高效硅片切割用的切削液制备方法 [P]. 
聂金根 .
中国专利 :CN104593134A ,2015-05-06
[8]
一种多晶硅片切削液的制备方法 [P]. 
郭舒洋 ;
薛培龙 .
中国专利 :CN106118822B ,2016-11-16
[9]
一种高效硅片切割用的切削液 [P]. 
聂金根 .
中国专利 :CN104498171A ,2015-04-08
[10]
一种用于钨钢的切削液及其制备方法 [P]. 
周青松 .
中国专利 :CN110305727A ,2019-10-08