用于太阳能硅片清洗的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710729747.4

申请日：

2017-08-23

公开(公告)号：

CN107622936A

公开(公告)日：

2018-01-23

发明(设计)人：

樊华李慧陈克徐建俞超徐强

申请人：

申请人地址：

214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司 32218

代理人：

刘畅;徐冬涛

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-23	公开	公开
2018-02-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20170823
2021-03-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20180123

共 50 条

[1]

一种用于太阳能硅片制造的清洗液 [P].

李新家 ;

贾明 .

中国专利 :CN103952246A ,2014-07-30

[2]

一种太阳能硅片的表面清洗方法 [P].

郜勇军 ;

方建和 ;

柴宏峰 .

中国专利 :CN101817006A ,2010-09-01

[3]

太阳能电池硅片清洗方法 [P].

庞井明 ;

张云国 ;

俞英芸 ;

张立波 ;

石义洋 .

中国专利 :CN102500570A ,2012-06-20

[4]

一种用于清洗太阳能单晶硅片的清洗工艺 [P].

张大鹏 .

中国专利 :CN110575995A ,2019-12-17

[5]

一种太阳能硅片的清洗装置 [P].

刘庆 .

中国专利 :CN208033177U ,2018-11-02

[6]

太阳能硅片超声波清洗槽 [P].

王图强 .

中国专利 :CN202290651U ,2012-07-04

[7]

一种粘污太阳能硅片的清洗方法 [P].

吴志军 ;

井辰龙 ;

余小金 ;

郜勇军 .

中国专利 :CN102744230A ,2012-10-24

[8]

一种太阳能硅片的清洗方法 [P].

丁海军 .

中国专利 :CN102363149A ,2012-02-29

[9]

一种太阳能硅片的清洗方法 [P].

张林 ;

田小让 ;

毛卫平 ;

谷士斌 ;

赵冠超 ;

杨荣 ;

郭铁 ;

孟原 .

中国专利 :CN104752551A ,2015-07-01

[10]

太阳能硅片清洗设备 [P].

杨爱静 ;

许江涛 ;

孟庆平 ;

李跃恒 ;

赵邦桂 .

中国专利 :CN207839498U ,2018-09-11

← 1 2 3 4 5 →