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一种叶片凸台缺陷原位检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910895886.3
申请日：
2019-09-21
公开(公告)号：
CN110646506A
公开(公告)日：
2020-01-03
发明(设计)人：
帅家盛
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号院3号楼1层A110室
IPC主分类号：
G01N2790
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-03 | 公开 | 公开 |
| 2020-02-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/90 申请日:20190921 |