投影光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480035968.2

申请日：

2004-11-25

公开(公告)号：

CN100538524C

公开(公告)日：

2007-02-28

发明(设计)人：

汉斯-于尔根·罗斯塔尔斯基奥雷利安·多多克威廉·乌尔希里亚历山大·埃普勒

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B1314

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

邱军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-09	授权	授权
2007-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-03-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101077082811 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2004800359682 变更事项:专利权人变更前:卡尔蔡司SMT股份有限公司变更后:卡尔蔡司SMT有限责任公司变更事项:地址变更前:德国上科亨变更后:德国上科亨
2007-02-28	公开	公开

共 50 条

[1]

投影光学系统 [P].

孟祥月 ;

陈威望 ;

宋立通 ;

励维芳 ;

贺凌波 ;

戴付建 .

中国专利 :CN121209064A ,2025-12-26

[2]

投影光学系统 [P].

峯藤延孝 .

中国专利 :CN105824105B ,2016-08-03

[3]

投影光学系统 [P].

吴昇澈 ;

周昱宏 ;

黄威豪 .

中国专利 :CN114253054A ,2022-03-29

[4]

投影光学系统 [P].

吴昇澈 ;

周昱宏 ;

黄威豪 .

中国专利 :CN114253054B ,2025-02-07

[5]

投影光学系统 [P].

峯藤延孝 .

中国专利 :CN105892025A ,2016-08-24

[6]

投影光学系统 [P].

峯藤延孝 .

中国专利 :CN105892027B ,2016-08-24

[7]

投影光学系统 [P].

奥雷利安·多多克 ;

威廉·乌尔希里 .

中国专利 :CN101107570A ,2008-01-16

[8]

投影光学系统 [P].

峯藤延孝 .

中国专利 :CN105892026A ,2016-08-24

[9]

投影光学系统 [P].

全丽伟 ;

王浩 ;

龚俊强 ;

饶钦合 .

中国专利 :CN222965564U ,2025-06-10

[10]

投影光学系统 [P].

全丽伟 ;

王浩 ;

龚俊强 ;

饶钦合 .

中国专利 :CN118689024A ,2024-09-24

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