TFT性能测试装置及其制造方法和TFT性能测试方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200810222370.4
申请日
2008-09-17
公开(公告)号
CN101677094A
公开(公告)日
2010-03-24
发明(设计)人
于洪俊 黄婕妤 肖光辉 吴昊
申请人
申请人地址
100176北京市经济技术开发区西环中路8号
IPC主分类号
H01L23544
IPC分类号
H01L2100 H01L2166
代理机构
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人
刘 芳
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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崔永谋 ;
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