超声波清洗装置和超声波清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280003822.4

申请日：

2012-05-28

公开(公告)号：

CN103229279B

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

铃木一成

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

B08B312

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

施娥娟;李雪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101511728921 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2012800038224 申请日:20120528
2013-07-31	公开	公开
2015-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

超声波清洗装置和超声波清洗方法 [P].

干场英里 ;

伊达博充 ;

西本工 ;

上村贤一 .

中国专利 :CN110446564B ,2019-11-12

[2]

超声波清洗装置以及超声波清洗方法 [P].

长谷川浩史 ;

今关康博 ;

八锹照治 .

中国专利 :CN104781019A ,2015-07-15

[3]

超声波清洗装置以及超声波清洗方法 [P].

辻内亨 ;

饭田康夫 ;

安井久一 ;

今关康博 ;

长谷川浩史 .

中国专利 :CN102883828B ,2013-01-16

[4]

超声波清洗装置、超声波清洗方法 [P].

上川裕二 ;

稻富弘朗 ;

山本秀幸 ;

小宫洋司 ;

江头浩司 .

中国专利 :CN102029273A ,2011-04-27

[5]

超声波清洗用喷嘴和超声波清洗装置 [P].

三森健一 .

中国专利 :CN100485878C ,2005-06-15

[6]

超声波清洗装置及超声波清洗方法 [P].

阿部达夫 ;

椛泽均 ;

新井泉 .

中国专利 :CN101959620B ,2011-01-26

[7]

超声波清洗装置以及超声波清洗方法 [P].

芳贺宣明 ;

三森健一 .

中国专利 :CN1517160A ,2004-08-04

[8]

超声波清洗装置及超声波清洗方法 [P].

柴野美雪 ;

奥野秦 ;

榊原正人 .

中国专利 :CN1723091A ,2006-01-18

[9]

超声波清洗装置及其安装方法、超声波清洗系统 [P].

夏国正 ;

杨秀英 ;

吴华 ;

杨宏悦 ;

臧少锋 ;

胡锡文 ;

卢超然 ;

李广宇 ;

闫志男 .

中国专利 :CN118437696A ,2024-08-06

[10]

超声波清洗装置 [P].

太田宗吾 .

中国专利 :CN114097024B ,2022-02-25

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