薄膜晶体管的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611031040.8

申请日：

2016-11-16

公开(公告)号：

CN106328542A

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

林慧匡鹏叶旭

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2128 H01L29786

代理机构：

成都惠迪专利事务所(普通合伙) 51215

代理人：

刘勋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	公开	公开
2017-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702026911 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2016110310408 申请日:20161116
2020-12-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20170111

共 50 条

[1]

薄膜晶体管的制备方法及薄膜晶体管 [P].

刘凤娟 ;

王东方 ;

刘威 ;

卢昱行 ;

孙宏达 ;

宁策 ;

袁广才 .

中国专利 :CN113299559A ,2021-08-24

[2]

薄膜晶体管以及薄膜晶体管的制备方法 [P].

陈文龙 ;

王成博 ;

冯依婷 ;

岳士录 ;

褚莹莉 ;

孙威 .

中国专利 :CN118053913A ,2024-05-17

[3]

薄膜晶体管和制备薄膜晶体管的方法 [P].

张世玉 ;

牛海军 ;

祝明 ;

崔贤植 ;

石戈 ;

方正 ;

田允允 .

中国专利 :CN107527956A ,2017-12-29

[4]

薄膜晶体管的制备方法及薄膜晶体管 [P].

李展 .

中国专利 :CN110634748A ,2019-12-31

[5]

薄膜晶体管和制备薄膜晶体管的方法 [P].

梅田贤一 ;

铃木真之 ;

田中淳 ;

奈良裕树 .

中国专利 :CN101931009B ,2010-12-29

[6]

薄膜晶体管的制备方法 [P].

岳士录 ;

王成博 ;

陈文龙 ;

褚莹莉 ;

冯依婷 ;

孙威 .

中国专利 :CN117810089A ,2024-04-02

[7]

薄膜晶体管及薄膜晶体管的制备方法 [P].

梅雪茹 ;

刘念 .

中国专利 :CN111081753A ,2020-04-28

[8]

薄膜晶体管的制造方法、薄膜晶体管 [P].

高泽悟 ;

石桥晓 ;

增田忠 .

中国专利 :CN102203947A ,2011-09-28

[9]

薄膜晶体管 [P].

李恭檀 .

中国专利 :CN111524959A ,2020-08-11

[10]

薄膜晶体管、薄膜晶体管制备方法和阵列基板 [P].

王国英 ;

宋振 ;

孙宏达 .

中国专利 :CN107482055A ,2017-12-15

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