声表面波气体传感器的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200710064333.0
申请日
2007-03-12
公开(公告)号
CN101034083A
公开(公告)日
2007-09-12
发明(设计)人
李强 李冬梅 潘峰
申请人
申请人地址
100084北京市100084-82信箱
IPC主分类号
G01N29028
IPC分类号
H01L4900
代理机构
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人
李光松
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
声表面波气体传感器及其制作方法 [P]. 
李昊峰 ;
贾锐 ;
李维龙 ;
陈晨 ;
朱晨昕 .
中国专利 :CN101726538A ,2010-06-09
[2]
声表面波气体传感器及其制作方法 [P]. 
李冬梅 ;
周文 ;
刘明 ;
谢常青 ;
侯成诚 ;
汪幸 ;
闫学锋 .
中国专利 :CN102507733B ,2012-06-20
[3]
一种声表面波气体传感器 [P]. 
何志杰 .
中国专利 :CN105510434A ,2016-04-20
[4]
声表面波气体传感器及其制备方法、气体报警器 [P]. 
文莉 ;
于忠鑫 ;
杨俊峰 .
中国专利 :CN116773651B ,2024-01-05
[5]
一种声表面波气体传感器基片 [P]. 
杨保和 ;
郝银召 ;
李明吉 ;
王芳 ;
李翠平 .
中国专利 :CN102778509A ,2012-11-14
[6]
一种声表面波气体传感器及其制造方法 [P]. 
李冬梅 ;
侯成诚 ;
闫学峰 ;
周文 ;
汪幸 ;
刘明 ;
谢常青 ;
叶甜春 .
中国专利 :CN102778503A ,2012-11-14
[7]
一种声表面波气体传感器 [P]. 
谢光忠 ;
唐诗 ;
马行方 ;
吴寸雪 ;
苏元捷 ;
太惠玲 ;
杜晓松 ;
杜鸿飞 .
中国专利 :CN105738470A ,2016-07-06
[8]
一种声表面波气体传感器 [P]. 
朱小萍 .
中国专利 :CN203191355U ,2013-09-11
[9]
气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器 [P]. 
黄秀松 ;
陈泽荣 ;
肖健建 ;
罗邦雄 ;
赵鹤玲 ;
曾小红 .
中国专利 :CN113376215A ,2021-09-10
[10]
一种声表面波气体传感器的镀膜方法 [P]. 
王文 ;
陆铭慧 ;
何新军 ;
薛蓄峰 ;
高旭 ;
刘勋丰 ;
朱颖 .
中国专利 :CN114839261A ,2022-08-02