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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-11-30 | 授权 | 授权 |
| 2010-05-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001740440 IPC(主分类):H01J 9/02 专利申请号:2008800224185 申请日:20081112 |
| 2012-03-21 | 发明专利更正 | 发明专利更正 卷:27 号:48 页码:扉页 申请号:2008800224185 更正项目:发明人 误:沟上要|石野真一郎|坂元光洋|盐川晃|加道博行|大江良尚 正:沟上要|石野真一郎|坂元光洋|盐川晃|加道博行|大江良尚|河原崎秀司|上谷一夫 |
| 2016-01-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101640730616 IPC(主分类):H01J 9/02 专利号:ZL2008800224185 申请日:20081112 授权公告日:20111130 终止日期:20141112 |
| 2010-03-31 | 公开 | 公开 |