辐照强度分布的测量设备以及测量方法

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专利类型
发明
申请号
CN200880002943.0
申请日
2008-01-15
公开(公告)号
CN101589343B
公开(公告)日
2009-11-25
发明(设计)人
罗尔夫·弗赖曼
申请人
申请人地址
德国上科亨
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
邱军
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[10]
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