共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-12-21 | 公开 | 公开 |
| 2013-09-25 | 授权 | 授权 |
| 2012-02-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180918470 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2011100627762 申请日:20110316 |
| 2015-05-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101608725221 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2011100627762 申请日:20110316 授权公告日:20130925 终止日期:20140316 |