真空吸附装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710146097.7
申请日
2007-09-10
公开(公告)号
CN101145536A
公开(公告)日
2008-03-19
发明(设计)人
升芳明 宫本英典 吉泽健司 谷本恒夫 曽根康博
申请人
申请人地址
日本神奈川县
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
B23Q308 B25B1100
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人
雒运朴;李伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
真空吸附控制阀及真空吸附装置 [P]. 
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张瑞要 ;
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[3]
真空吸附方法以及真空吸附装置 [P]. 
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[6]
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[7]
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[8]
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[10]
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