长度测量装置和物品的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610509485.6
申请日
2016-06-30
公开(公告)号
CN106324612A
公开(公告)日
2017-01-11
发明(设计)人
黑木幸恵 鱼住崇之 小池宏
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
G01S1758
IPC分类号
G01S1708
代理机构
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人
宿小猛
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
长度测量装置和用于测量长度的方法 [P]. 
N.拉梅什 ;
G.卡马尔纳思 ;
M.D.库马尔 .
中国专利 :CN110068293A ,2019-07-30
[2]
长度测量装置和方法 [P]. 
陈波 ;
李钊 ;
苏崎 .
中国专利 :CN105783644A ,2016-07-20
[3]
测量装置、曝光装置和物品制造方法 [P]. 
齐藤悠树 .
日本专利 :CN114647155B ,2025-10-10
[4]
测量装置、曝光装置和物品制造方法 [P]. 
齐藤悠树 .
中国专利 :CN114647155A ,2022-06-21
[5]
电子束长度测量装置和长度测量方法 [P]. 
松本纯 ;
中村隆幸 ;
平野基司 .
中国专利 :CN1401070A ,2003-03-05
[6]
测量装置、光刻装置和制造物品的方法 [P]. 
桥本明人 ;
圆山智史 .
中国专利 :CN105319864A ,2016-02-10
[7]
一种薄膜物品长度测量装置 [P]. 
王震宁 .
中国专利 :CN104482905A ,2015-04-01
[8]
一种测量和显示卷尺运动长度的装置的制造方法 [P]. 
严超 .
中国专利 :CN109029184A ,2018-12-18
[9]
速度和长度测量装置 [P]. 
大卫·K·W·莱西 .
中国专利 :CN203204009U ,2013-09-18
[10]
涂布长度测量装置 [P]. 
齐晓东 .
中国专利 :CN101728516A ,2010-06-09