紫外线照射装置及紫外线照射方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610622675.9

申请日：

2016-08-01

公开(公告)号：

CN106409723B

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

稻尾吉浩小西清孝佐藤晶彦细田浩

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L213105 G03F720

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨宏军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	公开	公开
2018-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160801
2022-08-23	授权	授权

共 50 条

[1]

紫外线照射装置及紫外线照射方法 [P].

稻尾吉浩 ;

佐藤晶彦 ;

小针伦 ;

小西清孝 ;

细田浩 .

中国专利 :CN106980237A ,2017-07-25

[2]

紫外线照射装置及紫外线照射方法 [P].

河崎仁彦 ;

青木阳太 .

中国专利 :CN101553938A ,2009-10-07

[3]

紫外线照射装置及紫外线照射方法 [P].

西川润 ;

原田耕志 ;

福田总一郎 ;

藤井智大 ;

大桥广行 ;

厚井融 ;

铃木信二 .

日本专利 :CN118973622A ,2024-11-15

[4]

紫外线照射装置及紫外线照射处理装置 [P].

远藤真一 ;

菅敏幸 ;

石原肇 .

中国专利 :CN101527255A ,2009-09-09

[5]

紫外线照射装置及紫外线照射头 [P].

芦原克充 ;

高仓毅 ;

挂谷旭广 .

中国专利 :CN103427010B ,2013-12-04

[6]

紫外线照射装置、紫外线照射方法、紫外线照射装置的制造方法 [P].

田内亮彦 ;

白石和宽 ;

稻川裕树 ;

藤冈纯 .

中国专利 :CN102306609A ,2012-01-04

[7]

紫外线照射装置以及紫外线照射方法 [P].

内藤敬祐 ;

寺田庄一 ;

佐畠健一 .

中国专利 :CN113842479A ,2021-12-28

[8]

紫外线照射装置和紫外线照射方法 [P].

兒玉笃史 ;

杉山圣 ;

岸宽之 ;

伊藤直人 ;

神野菫 ;

马场亮佑 ;

安藤骏 ;

千叶博 .

中国专利 :CN114173830A ,2022-03-11

[9]

紫外线照射装置、紫外线照射条件设定法及紫外线照射法 [P].

铃木秀行 .

中国专利 :CN100492684C ,2005-08-03

[10]

紫外线照射模块以及紫外线照射装置 [P].

加藤刚雄 .

中国专利 :CN206259342U ,2017-06-16

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