一种外差式一/二维光栅位移粗/细测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610656320.1

申请日：

2016-08-11

公开(公告)号：

CN106052569B

公开(公告)日：

2016-10-26

发明(设计)人：

林杰陈航关健金鹏谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209

代理人：

张伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-01	授权	授权
2016-10-26	公开	公开
2016-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101688758979 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2016106563201 申请日:20160811

共 50 条

[1]

一种外差式二/三维光栅位移粗/细测量系统 [P].

林杰 ;

陈航 ;

关健 ;

金鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN106247947A ,2016-12-21

[2]

外差二维光栅位移测量系统及测量方法 [P].

刘兆武 ;

李文昊 ;

吉日嘎兰图 ;

于宏柱 ;

王玮 ;

姚雪峰 ;

尹云飞 .

中国专利 :CN112097651B ,2020-12-18

[3]

衍射光栅外差式二维位移测量系统及方法 [P].

李文昊 ;

吕强 ;

巴音贺希格 ;

唐玉国 ;

刘兆武 ;

于宏柱 .

中国专利 :CN108225193A ,2018-06-29

[4]

一种对称式紧凑型外差干涉光栅位移测量系统 [P].

林存宝 ;

廖育荣 ;

丁丹 ;

李云涛 ;

孟磊 .

中国专利 :CN110360931A ,2019-10-22

[5]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

杨开明 ;

成荣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759656B ,2014-04-30

[6]

一种二维光栅测量系统 [P].

张志平 ;

吴萍 .

中国专利 :CN106813578B ,2017-06-09

[7]

二维光栅位移测量装置 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

王玮 ;

周文渊 ;

白宇 .

中国专利 :CN115046482A ,2022-09-13

[8]

一种双波长超外差干涉实时位移测量系统 [P].

潘德馨 ;

卢乾波 ;

白剑 ;

汪凯巍 .

中国专利 :CN207019624U ,2018-02-16

[9]

一种外差式六自由度光栅运动测量系统 [P].

林杰 ;

李丹阳 ;

关健 ;

金鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN106152974A ,2016-11-23

[10]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统及方法 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

兰斌 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

杨开明 ;

鲁森 ;

丁思琪 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 .

中国专利 :CN105823422B ,2018-08-28

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