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一种半导体晶粒片转移装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811635333.6
申请日：
2018-12-29
公开(公告)号：
CN109524334A
公开(公告)日：
2019-03-26
发明(设计)人：
李凤丽
邹祥林
张俊
申请人：
申请人地址：
225500 江苏省泰州市姜堰南环西路1001号科技大厦
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338
代理人：
周浩杰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-26 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181229 |