一种探测器芯片的外延片蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021741131.2

申请日：

2020-08-19

公开(公告)号：

CN212783398U

公开(公告)日：

2021-03-23

发明(设计)人：

黄祥恩陈春明匡嘉乐

申请人：

申请人地址：

541004 广西壮族自治区桂林市七星区信息产业园D-08号地块2#生产车间

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21687 H01L3118 H01L2167 F21V3300

代理机构：

桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134

代理人：

张学平

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种探测器芯片的外延片镀膜装置 [P].

黄祥恩 ;

韦文龙 ;

孙浩铭 .

中国专利 :CN213388875U ,2021-06-08

[2]

一种探测器芯片的外延片切割装置 [P].

黄祥恩 ;

陈春明 ;

匡嘉乐 .

中国专利 :CN213124407U ,2021-05-04

[3]

一种探测器芯片的外延片镀膜设备 [P].

黄祥恩 ;

赖裕良 ;

丁峰 .

中国专利 :CN221028777U ,2024-05-28

[4]

外延片及光电探测器芯片 [P].

孙博 ;

赵泽平 ;

焦晓飞 ;

韩雪妍 ;

刘建国 .

中国专利 :CN113707748B ,2021-11-26

[5]

一种LED芯片蚀刻篮 [P].

胡泰祥 .

中国专利 :CN203553203U ,2014-04-16

[6]

一种生产红外探测器的外延生长装置 [P].

詹健龙 ;

宋禹析 .

中国专利 :CN209557980U ,2019-10-29

[7]

一种具有烘干效果的芯片蚀刻装置 [P].

胡天武 .

中国专利 :CN215896315U ,2022-02-22

[8]

一种芯片蚀刻机 [P].

徐黄松 ;

田冬梅 ;

田秋国 .

中国专利 :CN221149945U ,2024-06-14

[9]

一种高性能光探测器芯片外延片 [P].

徐鹏飞 ;

王岩 .

中国专利 :CN115295646B ,2025-06-03

[10]

一种红外探测器的外延生长装置 [P].

李旭朝 .

中国专利 :CN211125681U ,2020-07-28

← 1 2 3 4 5 →