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一种蓝膜芯片剥离机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120459829.3
申请日：
2021-03-03
公开(公告)号：
CN214175999U
公开(公告)日：
2021-09-10
发明(设计)人：
殷茂林
申请人：
申请人地址：
101100 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路5号院8号楼东侧
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京佐行专利代理事务所(特殊普通合伙) 11683
代理人：
王二娟;王占愈
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-10 | 授权 | 授权 |