一种晶圆清洗机

被引：0

申请号：

CN202221868695.1

申请日：

2022-07-19

公开(公告)号：

CN217797676U

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

陆金发殷秋鹤刘兆山郭云静

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市浙江海宁经编产业园区沧海路176号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

浙江永航联科专利代理有限公司 33304

代理人：

俞培锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN217191177U ,2022-08-16

[2]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[3]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[4]

晶圆清洗机 [P].

孙雅华 ;

吕修壮 ;

李伟平 ;

张财宝 .

中国专利 :CN222581111U ,2025-03-07

[5]

一种晶圆清洗机 [P].

杨仕品 .

中国专利 :CN212967650U ,2021-04-13

[6]

一种晶圆清洗机 [P].

王会敏 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 ;

尚玉晓 .

中国专利 :CN205718209U ,2016-11-23

[7]

晶圆盒清洗机 [P].

江永 .

中国专利 :CN220426127U ,2024-02-02

[8]

晶圆清洗机的灭火系统和晶圆清洗机 [P].

刘盛 ;

仰瑞 ;

陆育梃 ;

卢庆勇 ;

文洪 ;

晏涛 ;

许水波 ;

王安贵 ;

杨信鹤 ;

巫礼杰 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN222304665U ,2025-01-07

[9]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[10]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

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