半导体处理装置用电加热器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02828140.3

申请日：

2002-11-25

公开(公告)号：

CN1620714A

公开(公告)日：

2005-05-25

发明(设计)人：

上森进蓝谷隆

申请人：

申请人地址：

日本奈良县

IPC主分类号：

H01L2122

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

韩登营

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-05-25	公开	公开
2007-05-23	授权	授权
2018-01-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/22 申请日:20021125 授权公告日:20070523 终止日期:20161125
2005-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

电加热器和使用该加热器的半导体废气处理装置 [P].

大前秀治 ;

萩尾昌光 ;

金城弘章 .

中国专利 :CN119138102A ,2024-12-13

[2]

一种半导体清洗用电加热器 [P].

王金余 ;

杨桦 .

中国专利 :CN223080156U ,2025-07-08

[3]

速热式半导体电加热器 [P].

丛林 ;

丛茂义 ;

靳铁辉 .

中国专利 :CN201396902Y ,2010-02-03

[4]

双循环半导体PTC智能电加热器 [P].

王西锋 ;

乔学银 ;

贺晓君 ;

李卫涛 .

中国专利 :CN209819862U ,2019-12-20

[5]

一种半导体微型电加热器 [P].

冼远程 ;

廖秀梅 ;

冼灼文 .

中国专利 :CN220342481U ,2024-01-12

[6]

热处理炉用电加热器 [P].

上森进 ;

蓝谷隆 .

中国专利 :CN100359277C ,2005-04-27

[7]

船用电加热器装置 [P].

张志华 .

中国专利 :CN206061168U ,2017-03-29

[8]

船用电加热器装置 [P].

张志华 .

中国专利 :CN106658766B ,2017-05-10

[9]

半导体薄膜加热器 [P].

瞿德来 .

中国专利 :CN2199652Y ,1995-05-31

[10]

车辆用电加热器 [P].

M·本韦努托 ;

R·科洛 ;

A·代托斯 ;

F·佐帕斯 .

:CN120584260A ,2025-09-02

← 1 2 3 4 5 →