一种用于化学机械抛光的抛光头

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320581451.X

申请日：

2013-09-18

公开(公告)号：

CN203495741U

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

刘威顾亚平魏向荣

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室

IPC主分类号：

B24B3711

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于化学机械抛光的抛光头 [P].

黄仁东 .

中国专利 :CN207027220U ,2018-02-23

[2]

一种用于化学机械抛光的抛光头 [P].

熊世伟 .

中国专利 :CN203092329U ,2013-07-31

[3]

用于化学机械抛光头的气膜、化学机械抛光头及抛光设备 [P].

赵德文 .

中国专利 :CN112108990A ,2020-12-22

[4]

抛光头和化学机械抛光设备 [P].

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN109048627A ,2018-12-21

[5]

一种用于化学机械抛光的抛光头 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

朱煜 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101342679A ,2009-01-14

[6]

应用于化学机械抛光工艺的抛光头及化学机械抛光方法 [P].

曾佑祥 ;

施继雄 ;

周梅生 ;

于劲 ;

邹峥 ;

周文湛 .

中国专利 :CN101007396A ,2007-08-01

[7]

抛光头组件、化学机械抛光装置 [P].

权林 ;

季文明 ;

胡建平 .

中国专利 :CN117681114A ,2024-03-12

[8]

抛光头及化学机械抛光设备 [P].

王宇 ;

孟松林 ;

马逸麟 .

中国专利 :CN117718878A ,2024-03-19

[9]

一种抛光头和化学机械抛光装置 [P].

程子政 ;

孟松林 ;

温世乾 ;

赵德文 .

中国专利 :CN221560919U ,2024-08-20

[10]

化学机械抛光机的抛光头支架 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201833261U ,2011-05-18

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