石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420529050.4

申请日：

2014-09-15

公开(公告)号：

CN204097598U

公开(公告)日：

2015-01-14

发明(设计)人：

敖志青胡萍

申请人：

申请人地址：

338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室

IPC主分类号：

C30B2806

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	授权	授权
2021-08-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 28/06 申请日:20140915 授权公告日:20150114 终止日期:20200915

共 50 条

[1]

多晶硅铸锭热场结构、多晶硅铸锭炉和多晶硅锭 [P].

李建敏 ;

付志斌 ;

周成 ;

何亮 .

中国专利 :CN209468525U ,2019-10-08

[2]

多晶硅铸锭炉、多晶硅铸锭方法和多晶硅锭 [P].

周成 ;

何亮 ;

毛伟 ;

徐云飞 ;

李建敏 .

中国专利 :CN109554752A ,2019-04-02

[3]

多晶硅锭的制备方法、多晶硅铸锭炉及硅片 [P].

孟召标 ;

张凤 ;

汪晨 .

中国专利 :CN104372404B ,2015-02-25

[4]

新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板 [P].

刘立中 ;

巢芳家 ;

熊涛涛 ;

李子龙 .

中国专利 :CN207738890U ,2018-08-17

[5]

多晶硅铸锭炉石墨台 [P].

龙礼妹 .

中国专利 :CN202072791U ,2011-12-14

[6]

一种多晶硅锭及其制备方法和用于制备多晶硅锭的铸锭炉 [P].

罗鸿志 ;

胡动力 ;

刘海 .

中国专利 :CN106222743A ,2016-12-14

[7]

多晶硅铸锭炉石墨坩埚 [P].

査建洪 ;

施宇峰 ;

査如德 .

中国专利 :CN202415744U ,2012-09-05

[8]

多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置 [P].

赵波 ;

卫国军 ;

徐芳华 ;

孙海梁 .

中国专利 :CN201081544Y ,2008-07-02

[9]

多晶硅铸锭炉溢流保护结构 [P].

李恒文 .

中国专利 :CN202072799U ,2011-12-14

[10]

多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置 [P].

赵波 ;

卫国军 ;

徐芳华 ;

孙海梁 .

中国专利 :CN101168849A ,2008-04-30

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