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一种制备复合压电薄膜的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010664898.8
申请日：
2020-07-10
公开(公告)号：
CN113921694A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
刘桂银
王金翠
刘阿龙
申请人：
申请人地址：
250100 山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台1号楼B1806
IPC主分类号：
H01L4133
IPC分类号：
H01L41312
代理机构：
北京弘权知识产权代理有限公司 11363
代理人：
逯长明;许伟群
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/33 申请日:20200710 |
| 2022-01-11 | 公开 | 公开 |