一种冷却液添加设备及刻蚀系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202122086011.4
申请日
2021-08-30
公开(公告)号
CN215675959U
公开(公告)日
2022-01-28
发明(设计)人
沈吉 陈诚 汤介峰 荆泉 陈力钧
申请人
申请人地址
201315 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号
F25B4500
IPC分类号
H01J3732 H01L2167
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
周耀君
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[4]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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