化学品供应单元和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710302224.1

申请日：

2017-05-02

公开(公告)号：

CN107342249B

公开(公告)日：

2017-11-10

发明(设计)人：

郑富荣柳镇泽宋吉勋朴善用

申请人：

申请人地址：

韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

赵丹;赵莎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	授权	授权
2017-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170502
2017-11-10	公开	公开

共 50 条

[1]

化学品供应装置和化学品供应方法 [P].

韩真儿 ;

洪榕焄 .

韩国专利 :CN120228072A ,2025-07-01

[2]

化学品供应装置 [P].

徐晨鸽 ;

徐暎昊 .

中国专利 :CN205670534U ,2016-11-02

[3]

化学品供应装置 [P].

洪永镐 ;

李庸珍 .

韩国专利 :CN119099984A ,2024-12-10

[4]

化学品供应设备和化学品交换方法 [P].

洪榕焄 .

韩国专利 :CN120038141A ,2025-05-27

[5]

化学品供应设备和化学品交换方法 [P].

全伦奭 ;

朴贤淑 ;

金善珉 .

韩国专利 :CN120421257A ,2025-08-05

[6]

化学品供应系统 [P].

刘照华 ;

李永建 ;

郑聪 ;

周毅佳 ;

张斌斌 ;

刘欣荣 .

中国专利 :CN223595674U ,2025-11-25

[7]

化学品供应系统 [P].

许纪翔 ;

李思贤 .

中国专利 :CN222276859U ,2024-12-31

[8]

化学品供应系统 [P].

田文礼 .

中国专利 :CN209782661U ,2019-12-13

[9]

化学品供应系统 [P].

张文武 ;

丁秀萍 ;

王强 ;

刁春华 ;

周鹏 .

中国专利 :CN204678062U ,2015-09-30

[10]

化学品供应系统 [P].

王学利 .

中国专利 :CN204083814U ,2015-01-07

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