一种自对位曝光取向设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320499555.6

申请日：

2013-08-15

公开(公告)号：

CN203365918U

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

武延兵

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 G02B530

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王莹

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-03	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101704838266 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013204995556 申请日:20130815 授权公告日:20131225 放弃生效日:20140903
2013-12-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种自对位曝光取向设备及制作相位差板的工艺方法 [P].

武延兵 .

中国专利 :CN103488057B ,2014-01-01

[2]

一种自动对位曝光设备 [P].

陈志特 ;

王华 ;

何增灿 ;

黄海浩 .

中国专利 :CN210573188U ,2020-05-19

[3]

一种双面对位曝光设备 [P].

蔡一霖 .

中国专利 :CN220603846U ,2024-03-15

[4]

一种自动对位双面曝光设备 [P].

陈志特 ;

王华 ;

何增灿 ;

黄海浩 .

中国专利 :CN210781580U ,2020-06-16

[5]

自动对位曝光设备 [P].

王华 ;

陈志特 ;

甘泉 ;

黄海浩 ;

张少勋 ;

冯明瑞 .

中国专利 :CN116500867B ,2024-01-30

[6]

一种应用于曝光设备的内层对位装置及曝光设备 [P].

徐广峰 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN223390031U ,2025-09-26

[7]

一种转动式高速自动对位曝光设备 [P].

陈志特 ;

王华 ;

高剑 ;

黄海浩 ;

李钦鸿 .

中国专利 :CN211956121U ,2020-11-17

[8]

一种对位曝光方法 [P].

余学权 ;

吴斌 ;

李坤 ;

任立志 ;

沈文俊 ;

高亚东 .

中国专利 :CN104808451A ,2015-07-29

[9]

一种曝光对位模具 [P].

曾智明 ;

郭红良 ;

郭荣青 ;

刘师锋 .

中国专利 :CN203181424U ,2013-09-04

[10]

一种曝光对位模具 [P].

曾祥福 ;

张晃初 ;

邱雪 .

中国专利 :CN202979476U ,2013-06-05

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