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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-16 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 4/134 变更事项:申请人 变更前:广东省新材料研究所 变更后:广东省科学院新材料研究所 变更事项:地址 变更前:510000 广东省广州市天河区长兴路363号 变更后:510000 广东省广州市天河区长兴路363号 |
| 2019-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 4/134 申请日:20181109 |
| 2019-02-19 | 公开 | 公开 |