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一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011117109.5
申请日：
2020-10-19
公开(公告)号：
CN112259456A
公开(公告)日：
2021-01-22
发明(设计)人：
陈荣华
王毅
申请人：
申请人地址：
225008 江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期
IPC主分类号：
H01L213213
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283
代理人：
郭翔
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-22 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3213 申请日:20201019 |