感光性树脂组合物、感光性树脂层压体和抗蚀图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410384082.4

申请日：

2010-07-27

公开(公告)号：

CN104111585A

公开(公告)日：

2014-10-22

发明(设计)人：

西泽豪

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7031

IPC分类号：

G03F7027 H05K300

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/031 申请公布日:20141022
2016-05-25	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732741559 IPC(主分类):G03F 7/031 专利申请号:2014103840824 登记生效日:20160503 变更事项:申请人变更前权利人:旭化成电子材料株式会社变更后权利人:旭化成株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都
2014-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588954162 IPC(主分类):G03F 7/031 专利申请号:2014103840824 申请日:20100727
2014-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

感光性树脂组合物、感光性树脂层压体和抗蚀图案形成方法 [P].

西泽豪 .

中国专利 :CN102472969A ,2012-05-23

[2]

抗蚀材料用感光性树脂组合物以及感光性树脂层压体 [P].

筒井大和 .

中国专利 :CN102549498A ,2012-07-04

[3]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

田尻十南 ;

小坂隼也 ;

山田辉久 ;

国松真一 .

中国专利 :CN114667487A ,2022-06-24

[4]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

田尻十南 ;

小坂隼也 ;

山田辉久 ;

国松真一 .

日本专利 :CN114667487B ,2025-10-17

[5]

感光性树脂层压体 [P].

西本秀昭 .

中国专利 :CN101910943B ,2010-12-08

[6]

感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、及抗蚀图案的形成方法 [P].

宇野大介 ;

樱井隆觉 ;

西本秀昭 ;

松尾裕树 .

日本专利 :CN118541643A ,2024-08-23

[7]

感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、以及抗蚀图案的形成方法等 [P].

饭野亮 ;

古谷创 .

日本专利 :CN121002445A ,2025-11-21

[8]

感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、以及抗蚀图案的形成方法 [P].

龟山奈央 ;

西本秀昭 ;

松本克久 ;

松尾裕树 .

日本专利 :CN120077329A ,2025-05-30

[9]

感光性树脂组合物和层压体 [P].

秦洋介 ;

森彻 .

中国专利 :CN101228196A ,2008-07-23

[10]

感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体以及保护图案形成方法 [P].

筒井大和 .

中国专利 :CN106918993A ,2017-07-04

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