一种制作声表面波传感器敏感膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201110063380.X
申请日
2011-03-16
公开(公告)号
CN102680572A
公开(公告)日
2012-09-19
发明(设计)人
李冬梅 汪幸 刘明 周文 侯成诚 闫学锋 谢常青 霍宗亮 张满红
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
G01N29036
IPC分类号
C23C1428 C23C1408
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
周国城
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种制作声表面波传感器敏感膜的方法 [P]. 
李冬梅 ;
汪幸 ;
刘明 ;
周文 ;
侯成诚 ;
闫学锋 ;
谢常青 ;
叶甜春 ;
霍宗亮 ;
龙世兵 .
中国专利 :CN102654480A ,2012-09-05
[2]
一种制作声表面波传感器双层敏感膜的方法 [P]. 
李冬梅 ;
汪幸 ;
刘明 ;
周文 ;
侯成诚 ;
闫学锋 ;
谢常青 .
中国专利 :CN102818839A ,2012-12-12
[3]
一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法 [P]. 
李冬梅 ;
汪幸 ;
刘明 ;
周文 ;
侯成诚 ;
闫学锋 ;
谢常青 ;
叶甜春 ;
霍宗亮 ;
张满红 .
中国专利 :CN102655397A ,2012-09-05
[4]
一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法 [P]. 
李冬梅 ;
汪幸 ;
刘明 ;
周文 ;
侯成诚 ;
闫学锋 ;
谢常青 .
中国专利 :CN102818840A ,2012-12-12
[5]
一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法 [P]. 
李冬梅 ;
汪幸 ;
刘明 ;
周文 ;
侯成诚 ;
闫学锋 ;
谢常青 .
中国专利 :CN102820867A ,2012-12-12
[6]
一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法 [P]. 
李冬梅 ;
陈鑫 ;
梁圣法 ;
詹爽 ;
谢常青 ;
刘明 .
中国专利 :CN102735753A ,2012-10-17
[7]
声表面波传感器复合敏感膜的制备装置 [P]. 
胡佳 ;
李臻 ;
李维龙 ;
黄双双 ;
张婧 .
中国专利 :CN203519568U ,2014-04-02
[8]
一种表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法 [P]. 
李冬梅 ;
刘明 ;
谢常青 ;
霍宗亮 ;
张满红 ;
龙世兵 .
中国专利 :CN102655401A ,2012-09-05
[9]
用于气体检测的声表面波传感器芯片敏感膜的制备方法 [P]. 
黄歆 ;
李继良 ;
杨思川 ;
万飞 .
中国专利 :CN102608203A ,2012-07-25
[10]
双敏感源声表面波传感器 [P]. 
刘兴钊 ;
舒琳 ;
彭斌 ;
张万里 ;
王瑜 ;
李川 .
中国专利 :CN104101451B ,2014-10-15